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直發(fā)！！日本ENERGYS 半導體工藝氧氣分析儀

直發(fā)?。∪毡綞NERGYS 半導體工藝氧氣分析儀 SH-IVD
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產(chǎn)品詳情

直發(fā)?。∪毡綞NERGYS 半導體工藝氧氣分析儀 SH-IVD

格式		SH-IVD
測量原理		氧化鋯濃差電池系統(tǒng)
外形尺寸		202（寬）x 165（高）x 342（深）
面板切割		190（寬）x 150（高）
范圍		從 16 個范圍中選擇兩個 (0-1、2、5、10、25、50、100% O2 ₎ ( 0-10、20、50、100、200、500、1,000、2,000、5,000 ppm)
輸出		選擇 DC4 至 20mA、DC0 至 10mV 或 DC4 至 20mA、DC0 至 1V
樣氣流量		500毫升/分鐘
樣氣壓力		3～100kPa(G)（樣氣流量為500ml/min時）壓力低于3kPa(G)時需使用泵。壓力高于100kPa(G)時需使用減壓閥。
樣氣條件		不含易燃或腐蝕性氣體，在環(huán)境溫度下不會凝結(jié)。
準確性	重復性	%范圍：±0.5%FS ppm范圍：±1%FS
準確性	線性	±0.5FS以下（%范圍）±1ppm以下（0-10ppm范圍） *但是，這僅適用于使用與范圍匹配的標準氣體進行校準的情況。
響應時間		% 范圍：5 秒內(nèi)（90% 響應） ppm 范圍：10 秒內(nèi)（90% 響應）
環(huán)境溫度		-5 至 40°C
電源電壓		AC100V±10% 50/60Hz 200VA
重量		約6公斤